金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请一项名为“镀膜设备和镀膜方法“，公开号CN202211657178.4，菲沃泰申请镀膜设备和镀膜方法专利，可有助于镀膜效率高镀膜均匀性好申请日期为2022年12月。专利摘要显示，本申请实施例涉及一种镀膜设备（10）和镀膜方法。镀膜设备（10）包括...
金融界2024年6月25日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司申请一项名为“镀膜设备和镀膜方法“，公开号CN202211657178.4，菲沃泰申请镀膜设备和镀膜方法专利，可有助于镀膜效率高镀膜均匀性好申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本申请实施例涉及一种镀膜设备（10）和镀膜方法。镀膜设备（10）包括腔室（12）；镀膜原料入口（14），其位于腔室（12）、可连通腔室（12）内外；等离子体激发装置（16），其设于腔室（12）；以及载送装置（18），其位于腔室（12）内，载送装置（18）可悬挂基材（20）、可驱使基材（20）在腔室（12）内循环运动、并可翻转基材（20）。如此，可有利于大尺寸基材（20）在镀膜过程中充分展现在腔室（12）内、在腔室（12）内循环运动、并且被自动翻转，可有助于镀膜效率高、镀膜均匀性好等。